1. 南大光电(300346) ]: q- a# T8 v% |3 K- |- s3 K
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" E. C, A# A* q7 }- 核心地位:国内唯一实现ArF(193nm)浸没式光刻胶量产的企业,被视为高端ArF光刻胶的领头羊。
( Z# E* Q/ y3 S) @% e3 R1 w - 技术突破:其核心王牌ArF光刻胶已通过中芯国际、华虹集团等头部晶圆厂的验证,进入小批量供货阶段,覆盖28nm-14nm先进制程。 M- \; R- `1 V; b
- 优势:与北京大学合作,拥有自主研发的光致产酸剂等关键材料,国产替代率不断提升。( o% _" c( [* l7 p U% e' `. C& P
2. 彤程新材(300655)
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9 L S( ^- i/ O3 `9 Q2 n+ @- 核心地位:KrF(248nm)光刻胶的国产龙头。2 ?: P3 H& \6 G0 b" B
- 市场占有率:在国内KrF光刻胶市场市占率超过40%,是市场的第一梯队企业。
! L p# i8 a+ z8 ~: @0 T7 E9 ^9 Y - 产品线:KrF光刻胶已实现量产并进入批量验证阶段;ArF光刻胶也在积极推进中。3 f% E3 z. J, }5 @" X$ Q
3. 晶瑞电材(603650)
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' q* n0 r4 K2 h' i4 M- 核心地位:最早规模量产光刻胶的老牌企业之一。
9 A: `$ K* w, _4 ^- e4 Z1 X' ^* e - 技术实力:在G线(365nm)和I线光刻胶领域拥有深厚的技术沉淀和广泛的市场应用,主要服务于PCB和显示面板行业。; y$ [- a+ C5 s" i
- 优势:产品线覆盖半导体、新能源等多个领域,具备成熟的量产能力。
7 O! i- ~2 h- K9 E( N5 {; f9 \ 4. 上海新阳(300236)
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/ q9 l9 S& D9 I7 f: v, G- 核心地位:KrF光刻胶的黑马企业。" t6 ~4 L7 T( e2 ~5 r6 W" B
- 最新进展:KrF光刻胶已通过客户认证并取得首笔订单,标志着国产企业向高端光刻胶自主可控迈出了关键一步。
% O3 j6 G) |. U! e/ b, m! S - 产能:已建成年产能100吨,正在推进ArF光刻胶的研发和ArF干法光刻胶的认证。) t) A; \( M8 X; H# `: Y' ^* v+ D5 `
5. 华懋科技(603306)' s8 Z3 e, ~; o) A
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- h2 s8 ~# q, t* ~) B- 核心地位:ArF光刻胶的后起之秀,华为的光刻胶合作伙伴之一。
2 m- E- y! P6 B% j) | - 技术布局:拥有ArF-immersion(浸没式)产品及ArF-dry(干法)光刻胶产品线,其中ArF浸没式产品已经适用于28-45nm制程。0 m8 g& n$ i: k6 n+ B! G" u
- 优势:通过参股徐州博康,布局从光刻胶单体到成品的全产业链,已具备批量供应能力。1 P. d% I' {6 r. T' B
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/ `) ?7 a( ]) I1 ]+ x本文转载自公众号:王牌龙头汇, ^1 k. Q8 i' F4 O1 [0 ]+ f
(文章转载已获得原作者授权) |