荷兰正式宣布，禁售DUV光刻机，中方回应：别无选择，将自主制造

显示全部楼层 · 2025-10-21 19:44:57

这事儿说起来挺闹心的，荷兰那边在2023年3月8日就正式放话了，要对DUV光刻机出口中国加码管制。DUV是深紫外光刻机的缩写，主要用来做25纳米以上的芯片工艺，本来中国企业靠这个维持了不少生产线。
荷兰政府外贸大臣施赖纳马赫尔给议会写了封信，说新规夏天就开始执行，针对最先进的那些DUV设备，得先申请许可证才能卖到中国。
ASML公司作为荷兰的芯片设备大头，当天就表态，说部分DUV系统出口会受影响，特别是对某些中国客户的发货。
这不是突然冒出来的，早从2019年美国就开始推EUV光刻机的禁售，那玩意儿更先进，能做10纳米以下的芯片，荷兰当时就顶不住压力，同意不卖给中国。

结果到2022年10月，美国又升级了出口管制，把DUV也拉进来。荷兰一开始还硬气，外贸大臣在11月对媒体说，不会全盘复制美国的做法，ASML也继续对中国卖DUV，销量还涨了。
2023年1月，ASML老板富凯公开吐槽美国这套，拜登赶紧在白宫见荷兰首相吕特，当面劝。吕特没马上点头，但美国没停手，1月27日美日荷三方就谈妥了，对先进DUV要搞出口许可。
荷兰内部折腾了好几个月，一边顾着跟美国的盟友关系，一边担心ASML丢市场份额，毕竟中国是ASML的大客户，2022年对华营收占了不少。最终荷兰让步了，3月8日的声明就是起点。
转到6月30日，荷兰公布了细则，从9月1日起，ASML的TWINSCAN NXT:2000i之类的浸没式DUV光刻机出口中国必须过政府关。2024年1月，荷兰直接撤了部分已发的出口许可，ASML没法给中国发货NXT:2050i和NXT:2100i这些型号。
9月6日，荷兰又扩招，宣布从第二天起，所有浸没式DUV出口欧盟外地区都得特别批，包括1970i和1980i型号。这下ASML的日子不好过了，2024年对中国销量一度猛增，因为中国企业赶在禁令前囤货，但先进型号一断，影响就出来了，公司说对华业务掉10%到15%。

荷兰从2023年9月起就不公开ASML对华销售数据了，估计是怕惹事。进到2024年底，ASML在12月2日说，更新后的管制影响还在2025年展望里，总销量预计跟上，但中国部分会降。2025年1月15日，荷兰又改了出口措施，从4月1日起更严，对先进半导体设备管得死死的。
1月17日，荷兰把大部分ASML对华销售踢出敏感货物披露范围，数据更不透明了。ASML在2024年12月就说过，2025年中国业务占20%左右，但到10月16日，ASML的展望显示，美国的芯片出口管制让中国销量受重创，2025年总净销量涨15%，毛利率52%，但中国营收从2024年的高点往下走。
管理层说，2026年中国收入会大降，跟2024和2025比起来。ASML的短期收益还行，但长期看，中国AI放缓会拖累他们。2024年第二季度，ASML净销量62亿欧元，中国占49%，23.3亿欧元，尽管荷兰禁了EUV，但DUV还卖了不少。
中国市场2024年卖了约116亿欧元，占总销41%，但2025年预计降到25%以上。ASML说，中国DUV热潮在2024年结束了，正常化了。

中国这边呢，对荷兰的决定当然不爽。商务部直接说，对荷兰扩大ASML设备出口管制不满意，破坏了正常贸易。2024年9月8日，商务部发声，说荷兰这步加剧了供应链问题。中国半导体行业协会也批评，说这影响全球合作。
驻荷兰大使馆更直白，说荷兰妥协会坏了国际贸易规则，还伤ASML的研发。别看表面客气，中国实际动作不少。2023年禁令一出，中国就加紧自研。上海微电子设备公司，早2023年前就量产了90纳米光刻机，用多重曝光能撑到22纳米。
2023年12月，有消息说他们搞出28纳米DUV，但很快删了。2024年，上海微电子说年底交首台28纳米机，型号SSA/800-10W。
2025年5月，分析显示他们开始交付28纳米浸没式DUV工具。这帮中国减少进口依赖，每年建超100条芯片线，芯片进口额从超石油的水平降下来。中国科学院2025年报了EUV测试进展，标志着高端突破。

2月，中国投370亿欧元搞本土EUV系统，威胁ASML地位。上海微电子的衍生公司AMIES，2月成立，专攻光刻，目标65纳米和28纳米生产机。中国芯片厂计划2026年产量翻三倍，主要用之前买的ASML机，但本土工具会慢慢上。
9月，中国首台商用电子束光刻机亮相，号称突破，但专家说还得看真进展。9月18日，中国测试本土DUV机，SMIC他们用DUV拉到极限，因为EUV被堵。
10月1日，有视频说中国推出自家EUV机，关了ASML大门，但得验证。10月3日，传闻中国EUV机点燃股市，但可能是炒作。
整体，中国赌DUV，因为EUV被封，逼着本土扫描仪发展。CSET报告说，2025年7月，上海微电子只到DUV，EUV还远。3月，Semicon China说2024年4月中国首台EUV优化升级中。